儀器的主要性能指標:
| 樣品形態 | 濃度范圍 | 示值誤差 | 重復性（RSD） | 測量下限 |
| 氣體 | 0.1mg/m3≤樣品濃度≤1.0mg/m3 | ±0.08 mg/m3 | ≤10% | ≤0.1mg/m3 |
| 1.0mg/m3＜樣品濃度≤100mg/m3 | ±10% | ≤5% | ||
| 100mg/m3＜樣品濃度≤20000mg/m3 | ±6% | ≤3% | ||
| 液體 | 0.01mg/L≤樣品濃度≤1.0mg/L | ±0.08 mg/L | ≤10% | ≤0.2mg/L |
| 1.0mg/L＜樣品濃度≤100mg/L | ±10% | ≤5% | ||
| 100mg/L＜樣品濃度≤20000mg/L | ±6% | ≤3% | ||
| 固體 | 0.5mg/kg≤樣品濃度≤10mg/kg | ±15% | ≤10% | ≤1mg/kg |
| 10mg/kg＜樣品濃度≤100mg/kg | ±10% | ≤5% | ||
| 100mg/kg＜樣品濃度≤20000mg/kg | ±6% | ≤3% |
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